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电子厂净化车间对于电器净化的要求

电子厂净化车间对于电器净化的要求

一、电子厂净化车间的照明要求:超净室照度>150(LUX),员工工作区250LUX。

二、净化室照明控制要求:

1.净分间照明可采用局部控制加分片总控制,单开关控制照明不超过20个;

2.PECVD照明控制要求离PECVD沉积室有一定距离(大于8米);灯管要求120度耐高温,但不直接安装在PECVD顶部,应设计在两个沉积室的中间或前部。

三、净化器插座的安装位置和高度要求:

1.需要在净化室的每根柱子上安装插座板,面板需要距地面75cm的两个孔插座和三个孔插座

2.在非净化区域的净化区域的每根柱子上也需要安装插座面板,面板上需要两个插座和一个离地面75厘米的三孔插座;

四、照明、插座和电力设备的供电场所

1.灯具和插座共享主电源,照明也需要漏电,电源从现场的配电室引入,电力也从现场的电室引入,天花板以上需要修理的电源。

五、消防电源的导入位置。

1.在电子厂净化车间配电室,将低压柜引入两个不同的变压器。

2.安全标志、应急灯均按标准设计清洁现场(尽量利用现有土建工程设计的部分)。

六、非超净室照明要求:

1.超纯水房和空调房的照度为100LUX;

2.气体室照度为100LUX,气体室照明为防爆灯。

3.磨边区域和组件后部照度为150LUX,工作区域为250LUX,采用节能灯(铝合金广照灯)。

七、过程设备功率:

1.工艺设备用电应根据设备需要确定设备配有电缆,设备电缆应符合设备工艺用电要求,确保设备用电安全;

2.精密设备和其它动力设备需分开拉线,如激光设备的电缆需与其它设备电力分开。

八、配电箱设计:

1.在设计过程中,除了主要电力设备的开度外,各配电箱还需要留出一些备用空间,以满足部分设备和维修接电的增加。

九、电子厂净化车间配电室接地:

因为车间设备是大功率设备,所以在使用过程中会产生很大的电流。因此,在建造电气房屋的过程中,应做好电气房屋的接地工作,以确保车间设备的安全使用。